3D-Oberflächenmessung in Hochgeschwindigkeit durch konfokale Rastermikroskopie
von Ein neues Verfahren liefert bei Messungen mit der konfokalen Rastermikroskopie eine 3-dimensionales Bild. Dadurch können Messungen erheblich beschleunigt werden. Die Brennweiten für die unterschiedlichen Lichtwellenlängen werden schräg auf die Oberfläche …
